高溫爐操作規(guī)程
一、 準(zhǔn)備工作
a、檢查連接線是否正常。
b、檢查電源線接觸是否良好。
c、檢查密封性是否正常。
d、檢查冷卻水是否正常。
e,、準(zhǔn)備所需工具：無(wú)水酒精、無(wú)塵紙、作業(yè)手套、帆布手套、耐高溫手套、口罩、石墨推車(chē)、不銹鋼托盤(pán)
二、開(kāi)爐
a、打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)
b、向爐體充氬氣至大氣壓，打開(kāi)爐體前門(mén)，取下石墨蓋板
c、將輸送車(chē)開(kāi)關(guān)打至 OUT
d、清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
三、裝料
a、將石墨坩堝放置于輸送車(chē)平臺(tái)上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。
b、拔出限位桿，輸送車(chē)開(kāi)關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車(chē)會(huì)到初始位置。
c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門(mén)。
四、抽氣
a、檢查爐門(mén)是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封。
b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開(kāi)干式真空泵，打開(kāi)真空計(jì)開(kāi)關(guān) P1G1，打開(kāi)干式真空泵 。閥門(mén)，開(kāi)始抽氣測(cè)試泄漏率。
c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(mén)（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開(kāi)氬氣閥門(mén)充氬氣（20L/min）。
d、加熱 先打開(kāi)水環(huán)泵 再按 RUN，開(kāi)始工藝加熱。
e、冷卻。加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻。

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